时间：2024-10-06 17:01:42
中国半导体设备五强企业
中国半导体设备五强企业包括：
1. 中微公司：主要产品为刻蚀机和MOCVD设备，已在40多条亚洲、欧洲和国内先进生产线量产。
2. 北方华创：多款高端半导体设备相继进入量产阶段，如12寸硅刻蚀机、金属PVD、立式氧化/退火炉、湿法清洗机等。
3. 华林科纳：2020年技术案例突破有双八寸全自动清洗设备，12寸片盒全自动清洗设备，种植体全自动腐蚀设备，在线电子冷热器，Marangoni干燥设备等。
4. 晶盛机电：在半导体领域，单晶炉、抛光机、研磨机等设备陆续进入国内主流半导体材料厂商。
5. 芯源微：前道涂胶显影设备于上海华力工艺验证并确认收入；前道SpinScrubber清洗机设备已在中芯国际、上海华力等多个客户处通过工艺验证。
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